Вращающиеся соединения для оборудования для прореживания MSC3005R05

MSC3005R05 — шпиндель без полости ротационный узел, а центральное отверстие необходимо установить на шпинделе заказчика, для чего требуется прорезать отверстие для прохождения жидкости. Данный тип ротационного соединения может быть интегрирован со шпинделем заказчика, что обеспечивает более высокую степень интеграции оборудования заказчика. Количество основных каналов — 5. В этом типе ротационного соединения используется конструкция с механическим уплотнением. Диаметр центрального отверстия составляет 29.

MSC3005R05 Оборудование для утоньшения полупроводников: специальный вращающийся узел — описание продукта
Обзор продукта
MSC3005R05 — это многоканальный ротационный соединитель, разработанный специально для станков по утоньшению полупроводниковых пластин и полировального оборудования; он также известен как водяной/газовый соединитель с контактными кольцами. Данный узел является ключевым элементом динамического уплотнения в оборудовании для производства полупроводников и в основном используется для стабильной подачи жидких сред, таких как шлифовальная жидкость, охлаждающая вода, сжатый воздух, а также для отвода шлифовальных отходов во время высокоскоростного вращения шпинделя оборудования. Его основная функция заключается в обеспечении бесперебойного соединения между стационарной трубопроводной системой и вращающимся шпинделем, что гарантирует непрерывность и точность процесса обработки пластин.
Основные технические характеристики
1. Интегрированная конструкция без полого шпинделя
В модели MSC3005R05 реализована уникальная конструкция без шпинделя с полым стержнем и диаметром центрального отверстия 29 мм. Такая конструкция позволяет напрямую устанавливать и интегрировать ротационный узел на шпиндель оборудования заказчика, при этом шпиндель заказчика должен иметь соответствующие отверстия для прохождения жидкости. Такое интегрированное решение значительно уменьшает общую высоту оборудования, оптимизирует пространственную компоновку и повышает компактность оборудования.
2. Многоканальное управление потоками жидкости
Данная модель оснащена 5 просторными каналами, что позволяет одновременно обеспечивать независимую подачу нескольких видов рабочих сред. В сложных процессах разбавления она может использоваться для подачи свежей измельчающей жидкости, охлаждающей жидкости, сжатого воздуха для продувки, а также для отвода отработанной жидкости, что позволяет эффективно предотвратить перекрестное загрязнение между рабочими средами и обеспечить стабильность технологического процесса.
3. Превосходная пылестойкость и износостойкость
В модели MSC3005R05 используется конструкция с усиленным механическим уплотнением, предназначенная для работы в условиях большого количества мелких частиц и пыли, образующихся в процессе тонкого шлифования полупроводников. Ее конструкция не предъявляет чрезмерно высоких требований к чистоте рабочей жидкости и обладает высокой устойчивостью к проникновению пыли, что позволяет эффективно предотвращать попадание частиц на уплотнительную поверхность и, как следствие, износ или утечки, продлевая тем самым цикл технического обслуживания.
4. Низкий пусковой момент и низкое тепловыделение
Низкий пусковой момент: оптимизированная конструкция пар внутреннего трения обеспечивает более плавный запуск оборудования, снижает нагрузку на приводной двигатель и способствует повышению начальной точности обработки пластин.
Низкое тепловыделение: при длительной установке в закрытом пространстве и непрерывной эксплуатации данный разъем характеризуется чрезвычайно низким тепловыделением, что позволяет избежать повреждения уплотнений или деформации оборудования вследствие теплового расширения и обеспечивает надежность при длительной эксплуатации.
5. Модульность и преимущества с точки зрения затрат
Использование модульной концепции конструкции не только облегчает последующее техническое обслуживание и замену компонентов, но и позволяет эффективно снизить затраты клиентов на закупку оборудования и уменьшить нагрузку на складские запасы. Стандартизированная конструкция интерфейса упрощает адаптацию к устройствам для прореживания различных марок.