MSE04R06 Полупроводниковые ротационные соединения

MSE04R06 — это многоканальное устройство ротационный узел разработан специально для высокоточных процессов в производстве полупроводников. Данное устройство предназначено для решения проблемы динамического уплотнения между стационарными трубопроводами подачи жидкости и высокоскоростными вращающимися компонентами (такими как полировальные машины, установки для нанесения покрытий и проявления, станции влажной очистки) в процессе обработки пластин. В соответствии с чрезвычайно высокими требованиями полупроводниковой промышленности к чистоте среды, коррозионной стойкости и стабильности работы, в MSE04R06 используются специальные неметаллические контактные материалы и прецизионные механические конструкции, что обеспечивает нулевую утечку, низкий уровень выпадения частиц и длительный срок службы при транспортировке коррозионных сред, таких как сильные кислоты, сильные щелочи и сверхчистая вода.

Основные конструктивные особенности
1. Максимальная коррозионная стойкость и система материалов высокой чистоты
В технологиях влажных процессов производства полупроводников часто используются сильные коррозионные химические вещества, такие как фтористоводородная кислота, концентрированная серная кислота и концентрированная азотная кислота. Основное преимущество модели MSE04R06 заключается в выборе материалов, из которых изготовлены её компоненты, предназначенные для приема жидкостей:
Конструкция основного контура из неметаллических материалов: Основной канал потока изготовлен из высокоэффективных фторпластов (таких как PFA или PTFE) или неметаллических материалов. Такая конструкция сводит к минимуму вымывание ионов металлов в жидкость, предотвращает загрязнение поверхности пластин металлами и соответствует требованиям сверхвысокой чистоты, предъявляемым к материалам полупроводникового класса.
Химически инертные уплотнения: уплотнительная поверхность и уплотнительное кольцо изготовлены из специальных композитных материалов, обладающих износостойкостью и коррозионной стойкостью (таких как модифицированный графит на основе углеродного порошка, карбид вольфрама или специальные инженерные пластики). Эти материалы не только выдерживают длительное погружение в сильные кислоты и щелочи, но и обладают превосходной химической стойкостью, предотвращающей деградацию среды или отрыв частиц.
Технология защиты покрытий: на участках, не подвергающихся контакту с жидкостями и требующих использования металлических конструкций, наносятся специальные антикоррозионные покрытия, что позволяет дополнительно продлить срок службы оборудования в агрессивных химических средах.
2. Прецизионная механическая конструкция и долговечное уплотнение
Система опоры с несколькими подшипниками: внутри встроены два высокоточных подшипника, обеспечивающих плавность хода и жесткость вала при высокоскоростном вращении. Конструкция с низким коэффициентом трения позволяет оборудованию адаптироваться к условиям работы на высоких скоростях, одновременно снижая воздействие вибрации на уплотнительную поверхность.
Технология механического уравновешивающего уплотнения: использование конструкции механического уравновешивающего уплотнения с торцевой поверхностью, эффективно компенсирующей усилие давления жидкости, действующее на уплотнительную поверхность. Даже при высоком рабочем давлении уплотнительная поверхность сохраняет плотное прилегание, что значительно снижает износ и продлевает срок службы до сотен миллионов оборотов в минуту.
Визуальный контроль износа: Некоторые модели сконструированы таким образом, что позволяют непосредственно оценивать состояние износа внутренних уплотнений по их внешнему виду. Эта функция способствует проведению профилактического технического обслуживания, позволяя избежать непредвиденных простоев или брака пластин, вызванных выходом уплотнений из строя.
3. Гибкие схемы и варианты конфигурации
Многоканальная конструкция: поддерживает конфигурации с одной, двумя и несколькими каналами (от 2 до 26 каналов по выбору), позволяющие одновременно транспортировать несколько различных сред (таких как чистая вода, химические растворы, газы, вакуум и т. д.) для удовлетворения сложных технологических требований.
Гибкий выбор направления входа: поддерживает конфигурацию с боковым или задним входом, что упрощает установку и адаптацию к планировке помещения, в котором размещается устройство.
Возможности интеграции контактных колец: Некоторые гидравлические или многофункциональные модели могут быть оснащены контактными кольцами для обеспечения синхронной передачи электрических сигналов и жидкостей, что подходит для интеллектуальных полупроводниковых устройств, требующих мониторинга или управления в режиме реального времени.
Ротационный соединитель MSE04R06 широко используется в ключевых технологических процессах производства полупроводников на этапах «фронт-энд» и «бэк-энд»:
Химико-механическая полировка (CMP): используется для подачи полировального раствора и охлаждающей воды к высокоскоростным вращающимся полировальным головкам, что требует чрезвычайно высокой износостойкости и отсутствия осаждения частиц.
Мокрая очистка и травление: в установке для очистки одной или нескольких пластин различные кислотные и щелочные очищающие растворы подаются в вращающийся стакан для пластин, чтобы обеспечить отсутствие загрязнения среды металлами.
Оборудование для нанесения и проявления: используется для точного нанесения фоторезиста и проявителя, что требует стабильного расхода и отсутствия пульсаций.
Нанесение тонких пленок (CVD/PVD): В некоторых системах подачи прекурсоров для обеспечения равномерности покрытия требуются вращающиеся соединения.